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일본 CANON의 EUV
작년 5월
정밀도 중요) 속도 / 생산성 고속 대량 생산 가능 아직 낮음, 개선 필요 결함 민감도 광학 방식이라 상대적으로 덜 민감 금형 결함 → 전체 불량 위험 대표 고객사 TSMC, 삼성,
인텔
독일의 이 기업이 없었다면 ASML은 없었다
작년 5월
상용화 경쟁에 미국의
인텔
도 뛰어든다. 그러나 성공한 곳은 ASML. ASML의 EUV 장비의 ‘심장’ 인 반사미러 시스템 덕분이다. 그것을 제작하는 곳이 독일의 ZEISS.
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